산업부, 반도체산업용 고압가스 안전혁신과제 선정

첨단 반도체 장비(EUV) 도입 규제 등 11건 과제 통한 합리적 개선으로 기업 부담 완화

세종청사 산업통상자원부. ⓒ데일리안 DB

산업통상자원부는 반도체산업에 사용되는 고압가스에 대한 안전혁신과제(11건)를 선정하고 전문가 검토 등을 거쳐 합리적으로 개선해 기업 부담을 완화할 계획이라고 12일 밝혔다.

먼저 차세대 EUV장비 국내도입 허용기준을 개선하기로 했다. 스테인레스강 보다 내부식성, 저항성 등이 보완된 이중구조로된 슈퍼듀플렉스강 등 신소재재질의 배관을 사용한 차세대 EUV장비가 개발완료 예정이다. 하지만 신소재 배관에 대한 고압가스법령 내 사용규정이 없어 국내 도입이 불가한 상황이다.

이에 차세대 첨단장비 선점을 위해 슈퍼듀플렉스강 등 미국기계학회(ASME)에서 인정받은 재료의 배관도 고압가스 배관사용이 가능하도록 안전성을 검토 후 가스상세기준을 개정해 국내도입이 가능하도록 할 예정이다.

고압가스 폭발시 인명 보호를 위한 방호벽 관련 다양한 설치기준도 허용하기로 했다. 반도체공장은 바닥면이 얇은 경량화된 복층건물구조다. 이에 깊이 묻어야 하는 기존 방호벽 지주의 고정방법으로는 지주설치가 곤란하고 방호벽도 두꺼운 콘크리트재질만 설치가능해 공장 증설에 어려움이 있었다.

가스상세기준에서 구조기술사 등이 안전성을 확인한 경우에는 케미컬앵커 등 다양한 지주설치방법을 허용할 계획이다. 또 방호벽도 기존 방호벽의 재질과 동등한 안전수준이면 강판제 등 다양한 재질의 방호벽을 허용하도록 기준을 마련하여 반도체 공장의 공간 활용을 증대시킬 예정이다.

공장내부의 용기보관(저장용 실린더캐비닛) 기준도 개선하기로 했다. 현재 저장용 실린더캐비닛은 공장내부에 설치 시 설치장소 지붕을 가벼운 불연재료로만 사용해야 한다. 이에 복층으로 공장증설시 가벼운 지붕은 상층 바닥이 돼 하중을 견디기 어려워 동 캐비닛을 공장에 설치하기 곤란한 실정이다.

이에 전문가 검토 등을 거쳐 저장용 실린더 캐비닛에 대한 안전성을 검증 후 지붕을 가벼운 불연재료로 사용하도록 하는 의무 규정을 면제하는 기준을 마련해 반도체공장의 복층 증설을 용이하도록 할 예정이다.

박일준 산업부 2차관은 "반도체 초강대국 달성을 촉진하고 지원하는 기폭제가 될 수 있도록 금번 선정된 혁신규제과제를 신속히 추진하겠다"며 "앞으로도 반도체산업 뿐만 아니라 에너지분야 안전과 관련된 타 산업에서도 안전 확보와 산업 발전의 균형을 도모하는 규제혁신과제를 지속적으로 발굴해 기업경쟁력이 강화되도록 지원해 나가겠다"고 밝혔다.